價格
電議
型號
VGB3/VGB3Plus
品牌
CIF
所在地
上海市 松江縣
更新時間
2025-08-06 11:50:03
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產品型號：
VGB3/VGB3Plus
一、應用領域
等離子清洗設備廣泛應用于材料學、微電子、半導體、新能源、線路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫學等領域，主要用于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。
CIF推出VGB系列手套箱等離子清洗設備，優化的腔體結構及合理的結構設計更適合手套箱內使用。安裝簡單方便，性能穩定，實用性強，容易維護。
二、技術參數
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型號 |
VGB3 |
VGB3Plus |
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艙體尺寸 |
D200XΦ155mm |
D200XΦ155mm |
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艙體容積 |
3.8L |
3.8L |
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艙體材質 |
不銹鋼 |
不銹鋼 |
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射頻電源 |
40KHz |
13.56MHz |
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匹配器 |
自動匹配 |
自動匹配 |
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激發方式 |
電容式或電感 |
電容式 |
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射頻功率 |
0-500W可調 |
0-150W可調 |
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氣體控制 |
雙浮子流量計（標配） |
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有效處理尺寸 |
L200xW155mm |
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時間設定 |
9999秒 |
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真空泵 |
抽速4m3/h |
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氣體穩定時間 |
1分鐘 |
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真空度 |
100pa以內 |
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電 源 |
AC220V 50/60Hz 666/316W |
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艙體尺寸 |
L235xW345xH245mm |
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控制尺寸 |
L330xW490xH190mm |
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包裝尺寸 |
L450xW640xH690mm |
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整機重量 |
25kg |
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