LINTEC作為流量和流體控制設(shè)備制造商，為客戶提供從氣體面板到流體供給設(shè)備的多種產(chǎn)品定制服務(wù)。
LVS 系列是一款搭載液體質(zhì)量流量側(cè)量計和汽化器的精密型液體汽化供給整合裝置。該設(shè)備擁有與液體物理性質(zhì)相匹配的流程系統(tǒng)，相比鼓泡設(shè)備相比汽化供給更加穩(wěn)定，相較于烘烤設(shè)備，擁有更大流量，且可以在常壓條件下使用。
只需連接至各種設(shè)備后便可立即使用的一體化設(shè)計
根據(jù)使用條件，可適用各種液體、流量規(guī)格
利于保養(yǎng)的設(shè)計結(jié)構(gòu)，簡潔清潔
內(nèi)置各種安全警報設(shè)定功能
LVS系列設(shè)備主要用于各種液體材料的研發(fā)。主要為CVD(化學(xué)氣相沉積)提供薄膜沉積過程中所需液體材料的汽化供給。
直接汽化方式流程圖
C2H5OH / C6H14 / C6H14 / C6H14O3 / C14H32OSi / (CH3CH2)2NH / H2O / HMDS / HMDSO / SiCl4 / TEOS / TiCl4 / 丙烯酸
※除上述液體之外，其他液體也可根據(jù)條件對應(yīng)。請直接致電或郵件咨詢LINTEC。
※圖片僅供參考。
| 使用環(huán)境溫度/相對濕度 | 20～40℃/80%以下 | |
| 使用條件 | 連續(xù)運轉(zhuǎn) | |
| 電源電壓 | 單相 | AC100V 50/60Hz AC200V 50/60Hz |
| 絕緣抵抗 | 500V絕緣抵抗計10MΩ以上 | |
| 程序設(shè)備 | 閥門驅(qū)動Air | 0.5～0.6MPa |
| 載氣?泵送氣體用N2 | 0.05～0.3MPa | |
| 電源 | 100VAC 200VAC | |
| 配管/筐體 | 配管 | BA管 |
| 液面計 | 懸浮式 | |
| 液體槽 | 500CC/1L/2L/5L | |
| 溫度調(diào)節(jié)器 | 汽化器/2條配管線獨立控制 | |
| 操作?設(shè)定 | 觸摸屏 | |
為滿足客戶需求，我們提供各種變更或追加產(chǎn)品規(guī)格的定制服務(wù)。
例如：EP管變更，追加氣體檢測儀、加熱過濾器(VF Series)等，以及本地控制面板變更等服務(wù)。
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