LINTEC作為流量和流體控制設備制造商，為客戶提供從氣體面板到流體供給設備的多種產品定制服務。
LVS 系列是一款搭載液體質量流量側量計和汽化器的精密型液體汽化供給整合裝置。該設備擁有與液體物理性質相匹配的流程系統，相比鼓泡設備相比汽化供給更加穩定，相較于烘烤設備，擁有更大流量，且可以在常壓條件下使用。
只需連接至各種設備后便可立即使用的一體化設計
根據使用條件，可適用各種液體、流量規格
利于保養的設計結構，簡潔清潔
內置各種安全警報設定功能
LVS系列設備主要用于各種液體材料的研發。主要為CVD(化學氣相沉積)提供薄膜沉積過程中所需液體材料的汽化供給。
直接汽化方式流程圖
C2H5OH / C6H14 / C6H14 / C6H14O3 / C14H32OSi / (CH3CH2)2NH / H2O / HMDS / HMDSO / SiCl4 / TEOS / TiCl4 / 丙烯酸
※除上述液體之外，其他液體也可根據條件對應。請直接致電或郵件咨詢LINTEC。
※圖片僅供參考。
| 使用環境溫度/相對濕度 | 20～40℃/80%以下 | |
| 使用條件 | 連續運轉 | |
| 電源電壓 | 單相 | AC100V 50/60Hz AC200V 50/60Hz |
| 絕緣抵抗 | 500V絕緣抵抗計10MΩ以上 | |
| 程序設備 | 閥門驅動Air | 0.5～0.6MPa |
| 載氣?泵送氣體用N2 | 0.05～0.3MPa | |
| 電源 | 100VAC 200VAC | |
| 配管/筐體 | 配管 | BA管 |
| 液面計 | 懸浮式 | |
| 液體槽 | 500CC/1L/2L/5L | |
| 溫度調節器 | 汽化器/2條配管線獨立控制 | |
| 操作?設定 | 觸摸屏 | |
為滿足客戶需求，我們提供各種變更或追加產品規格的定制服務。
例如：EP管變更，追加氣體檢測儀、加熱過濾器(VF Series)等，以及本地控制面板變更等服務。
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