任何方向類型 TG-F 系列
使用油脂潤滑球軸承，用于小型、輕便和低成本的泵。抗沖擊設計使渦輪分子泵能夠安裝在移動設備或運動部件上。產品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號。
潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面
產品陣容
TG350F
任何方向
緊湊的尺寸
節能
快速啟動
帶排氣口快速關閉
用于涌入空氣的耐用結構
串行通信
※RS232C串行接口
安全標準 NRTL / SEMI-S2 / CE
應用
半導體生產
電子槍排氣、電離源排氣
FPD制造
表面處理、表面改性
各種電子元器件的制造
分析、檢測設備
燈具生產、光學元件生產
加速裝置、輻射設施、核聚變研究
熱處理
研究與開發
*如果排出腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用TG-M或TG系列。
| 入口法蘭 | VG100 ISO-R100 CF100 | |
| 體積流量 | VG/ISO-R?CF N2（長/秒） | 350/330 |
| VG/ISO-R?CF N2 （帶防護屏） （長/秒） | 330/310 | |
| VG/ISO-R?CF H2（長/秒） | 210/210 | |
| *壓縮 比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 基礎壓力 | （賓夕法尼亞州/托爾） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| *吞吐量※1 | （SCCM） | 500 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 2-2.5 |
| 關機時間 | （分鐘） | 5-6.5 |
| *背 壓 | （賓夕法尼亞州/托爾） | 260/2 |
| 的 前級真空泵 | （升/分鐘） | ≧80 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF（kg） | 6/9 |
| 控制器 | TC353型 | |
*1 ： 使用160L/min的前級真空泵時。
[使用環境溫度]
確保您達到極限壓力的環境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環境溫度為10-32°C，水冷型允許環境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
一些使用氣體會使潤滑脂和內部零件變質。請聯系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。
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京公網安備 11010802023672號
溫馨提示：為規避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。