帶集成控制單元的磁懸浮型 TGkine-B系列?

集成控制器/電源。無需互連電纜/電纜管道，也無需機架安裝。對系統設計造成的壓力較小。延續了我們的 TG-M 系列傳統。優化的復合轉子設計提供*的性能。

帶集成控制單元的磁懸浮式渦輪分子泵的橫截面

節能加熱型TGkineMI-B系列

TGkineMI-B 系列旨在降低渦輪分子泵 （TMP） 內部積聚的冷凝率。大阪的隔熱結構和溫度管理系統（TMS）生效。

• 我們針對 TMP 內積累的工藝副產品的節能解決方案

- 結合高速TMP轉子產生的熱量和內置的TMS（溫度管理系統），泵內溫度可有效控制至90°C，而不會有加速材料故障的風險 - 改善系統正常運行時間并延長MTBS（平均服務間隔時間）！

- 我們獲得的節能隔熱結構增強了整體熱傳遞，同時保持了 TMP 內可能發生工藝副產品冷凝的熱點，從而大大減少了副產品堆積。

- 改善泵的生命周期并減少泵維護要求的頻率- 增加系統正常運行時間。

■ 我們的TGkine-MI突破 - 節能Theraml絕緣結構

- 我們獲得的隔熱結構可保留快速轉子產生的壓縮熱并將其重新分配到 TMP 內的特定 hoto 點，從而防止工藝運行過程中的副產品冷凝。
- 與內置的TMS相結合，與直接TMS的標準方法相比，實現了節能效果。
- 改進的傳熱使用戶能夠有效地將泵的“內部”溫度保持在高達 90°C - 這是工藝多功能性的顯著改進。

應用

• 半導體工藝

• LCD/TFT/MEMS制造工具

• 規格

• 尺寸

• 性能曲線

半導體/電子元件

半導體器件是通過在晶圓上重復薄膜沉積、光刻膠曝光、蝕刻和離子植入等過程制造的。其中許多過程都是在真空環境中執行的，并檢查其結果。干式真空泵用于中低真空工藝，渦輪分子泵和低溫泵用于高真空工藝。

對于蝕刻，真空泵必須對所用氣體具有耐腐蝕性、防止副產品沉積的溫度控制、對大量工藝氣體的高吞吐量性能以及對產生熱量的冷卻能力。安裝靈活性也很重要。

我們TGkine MI-B系列?,TGkine MI-R 系列?TG-MI系列渦輪分子泵具有高抽速、耐腐蝕、溫控能力強、高吞吐量性能、制冷量、安裝靈活性等特點。

我們的TG-ML系列低振動磁懸浮渦輪分子泵用于光刻或CD-SEM和TEM設備，用于測量納米制造結構。它們干凈，具有*的低振動性能。