帶集成控制單元的磁懸浮型 TGkine-B系列?

集成控制器/電源。無需互連電纜/電纜管道，也無需機架安裝。對系統(tǒng)設計造成的壓力較小。延續(xù)了我們的 TG-M 系列傳統(tǒng)。優(yōu)化的復合轉(zhuǎn)子設計提供*的性能。

帶集成控制單元的磁懸浮式渦輪分子泵的橫截面

TGkine1700M-B / 2200M-B

- 集成控制器和電源

-節(jié)能

-緊湊的

- IP54 標準

- 多種接口選項

- 符合國際標準：

CE / NRTL / 半 S2

應用

• 太陽能電池制造

• 玻璃、光學鍍膜

• 薄膜涂層

• 表面處理、表面改性

• 液晶顯示器制造

• 半導體制造

• 加速器、空間模擬器

• 規(guī)格

• 尺寸

• 性能曲線

半導體/電子元件

半導體器件是通過在晶圓上重復薄膜沉積、光刻膠曝光、蝕刻和離子植入等過程制造的。其中許多過程都是在真空環(huán)境中執(zhí)行的，并檢查其結(jié)果。干式真空泵用于中低真空工藝，渦輪分子泵和低溫泵用于高真空工藝。

對于蝕刻，真空泵必須對所用氣體具有耐腐蝕性、防止副產(chǎn)品沉積的溫度控制、對大量工藝氣體的高吞吐量性能以及對產(chǎn)生熱量的冷卻能力。安裝靈活性也很重要。

我們TGkine MI-B系列?,TGkine MI-R 系列?TG-MI系列渦輪分子泵具有高抽速、耐腐蝕、溫控能力強、高吞吐量性能、制冷量、安裝靈活性等特點。

我們的TG-ML系列低振動磁懸浮渦輪分子泵用于光刻或CD-SEM和TEM設備，用于測量納米制造結(jié)構(gòu)。它們干凈，具有*的低振動性能。